细分真空设备发展有了很大的发展和长足的进步

细分真空设备发展有了很大的发展和长足的进步

目前"真空科学与技术"包括了诸多的学科分支，真空科学与技术的分支学科分支学科分支学科的内容经典真空技术真空获得，测量，检漏，真空系统及元件。电子材料和加工工艺真空电子器件，半导体材料，光电材料，敏感材料，薄膜电子材料，薄膜材料，智能材料，沉积加工工艺，外延生长技术，掩膜和刻蚀等。表面科学固体表面电子结构，原子结构的研究，超高真空扫描隧道显微镜，表面性能测试。

真空冶金真空熔炼铸造，真空脱气铸造，真空热处理，真空焊接，真空还原蒸留炭化，单晶体制备，表面处理。等离子体科学与技术等离子体在磁控溅射，离子镀等设备的应用。等离子体化学气相沉积，高纯度单晶薄膜制备，等离子体显示器件。薄膜科学与技术真空蒸发镀，真空溅射镀，真空离子镀，化学气相沉积。应用表面科学紫外光电子能谱分析离子中和谱、X光电子能谱等表面分析仪器。纳米科学与技术纳米材料的制备，纳米生物学，纳米机械与纳米动力学，纳米电子学，纳米医疗。

其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了"风箱鼓风法"，这是利用真空进行吸气原理有记载的描述。通常在回顾真空科学发展史时，常常误认为1643年托里析利的压力实验和1650年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的98%早发现。

公元218~316年我国晋朝医生葛洪又创造了"拔火罐"医疗法。这是真空技术在医学上应用的具体例证。可见葛利克抽气机的发明与我国的风箱鼓风抽气相比较，在时间上至少要晚几百年。除了作为获得，检测，真空系统及其元件等产品的自身发展借以配合许多科学创新的条件和手段外，由于现代科学技术的相互交叉与渗透，因此又极大的丰富了真空科学与技术的内涵。

尤其是"超高真空"，"超清洁表面"的出现，揭示了自然界中许多新颖的现象和规律，其中纳米技术的发展就是很好的例证。这时由于电子器件，原子能，航天技术对真空环境的需求，极为迫切，从而大大的推动了这一技术的发展。因此在我们回顾真空科学发展的历程时，是不应忘记我们的祖先，对人类在早期发展真空技术中所做出的贡献。但是，真空科学与技术作为独立的科学体系还是从20世纪初开始的。

中国机械行业自改革开放的30多年来有了很大的发展和长足的进步，这不仅反映在产值、产量上的大幅度增长，而且在品种、规格还是在综合技术水平上都取得了可观的成绩。尤其是三个九五计划以来，行业各企业抓住机遇，调整产品结构，大力推进技术创新，取得了许多大行业级以及*的新产品、新技术成果，为我国的国民经济建设，科学技术的发展，国防高新技术的提升做出了贡献。